硫铅族多晶探测器

非制冷硫化铅与硒化铅多晶光导探测器由于成本低，性能优越而被广泛应用于近红外及中红外光谱领域。铅盐多晶薄膜常通过化学水浴沉积、物理气相沉积、化学气相沉积、分子束外延及原子层沉积等方法得到，其中化学水浴沉积法以成本低，得到晶体质量高等优势被广泛使用。

然而无论沉积技术如何，生长完的铅盐多晶薄膜都需要在一定气氛下热处理后才能对红外辐射敏感。优化沉积技术及退火技术以得到更均匀更敏感的薄膜是室温中波红外探测器的重要发展方向。

我们用自制的化学水浴法装置获得形貌均匀，厚度可控的铅盐薄膜。并用管式炉对薄膜进行指定气氛的热处理，以提高铅盐薄膜对红外辐射的敏感性。

图（1）化学水浴法装置示意图    图（2）a.刚生长的薄膜 b.氧化后的薄膜 c.氧化及碘化后的薄膜

我们通过化学水浴沉积法获得的硫化铅薄膜室温下比探测率可达到2×10¹⁰琼斯，并且响应度和EQE均超过商用探测器PbS010010TO5。

图（3）化学水浴法获得的硫化铅薄膜与商用探测器PbS010010TO5的响应度、EQE的比较